苏州尼米兹真空设备有限公司

光学膜厚控制仪

英国Intellemetrics成立于1983年，自2005年开始生产光学膜厚控制仪以来，经过多年的不断完善和更新迭代，其产品在很多OEM设备厂家的电子束，离子束溅射，磁控溅射镀膜机上广泛使用。

间接光学监控——测试比较片

英国Intellemetrics 间接光学监控主要特点如下：

· 双光束，四相斩波器消除腔室噪音和光源漂移

· 测试片转动装置误差校验, 测试片重复性好<0.1%

· 工艺灵活或复杂；优秀的信噪比；标准的测试片

· 可获得高精度,高产出和高性能的薄膜

直接光学监控

英国Intellemetrics 直接光学监控主要特点如下：

· 双光束，四相斩波器消除腔室噪音和光源漂移

· 直接监控产品或在相同位置的特定测试片

· 无Tooling因子，基片每旋转一圈测量一次

· 数据采集速度快(3ms)

光源模块：

· 石英卤素灯： 300 – 2400nm

· 采用氘灯波长扩展到 220nm

检测器模块：

· PMT 220 - 800nm

· Peltier Cooled Silicon 400 - 1100nm

· Peltier Cooled Si plus InGaAs 500 - 1650nm

· Peltier Cooled PbS 800 - 2200nm

标准光控系统：

· IL570-1 300 – 800nm

· IL570-2 400 – 1100nm

· IL570-3 500 – 1650nm

· IL570-4 800 – 2200nm

· IL570-1-3 300 – 1650nm

· IL570-2-3 400 – 1650nm

· IL570-1-4 300 – 2200nm

· IL570-2-4 400 – 2200nm

备注：BW = 2.5–6.5nm，除NBFs（比如：DWDM）的产品外，适用于其他所有的光学镀膜

增强型光控系统：

· IL570-DUV-ES 230 – 800nm

· IL570-DUV-3 -ES 230 – 1650nm

· IL570-1-3-ES 300 – 1650nm

· IL570-3-ES 550 – 1650nm

· IL570-1-4-ES 300 – 2200nm

备注：BW = 0.7-1.5nm，适用于所有的光学镀膜包括NBFs

光控软件：

· Film Maker 2 & Film Director 2

· Windows 7 , 8 , 10 32bits and 64 bits